臭氧技术因可实现烟气中多种污染物协同脱除而具有明显优势，近年来已成为国内外烟气综合治理领域的研究热点。燃煤锅炉烟气中的氮氧化物排放，其中难溶于水的一氧化氮占90%以上，而二氧化氮、五氧化二氮等皆溶于水。因此，若对烟气中大量的一氧化氮进行氧化，则可实现在脱硫塔中与二氧化硫的协同脱除。

近年来，随着有机废气治理行业的兴起，臭氧的应用越来越广泛。臭氧催化法是通过臭氧与催化填料多相混合后与废气发生氧化还原反应。该工艺流程有液相、气相等多项氧化催化方式。整个工艺在特制的密闭腔内发生氧化还原、催化反应，整个反应过程安全无害，反应后的最终产物为水和二氧化碳等无异味物质。系统操作简单、快捷且可智能控制。臭氧催化法的运行维护方便，且耗能低、无耗材、寿命长，催化填料为永久性催化填料，运行费用低，维护便捷。